Технологические процессы, связанные с использованием вакуумного оборудования, широко применяются для проведения научных исследований, в медицине, атомной энергетике, электронике, авиации и космонавтике. Вакуумные насосы являются необходимыми элементами оснащения металлургических, химических производств и других отраслей промышленности.
Для получения вакуума в узлах масс-спектрометров, электронных микроскопов, напылительных установок и других высокоточных приборов, а также при производстве ламп накаливания, полупроводниковых приборов, фотоэлементов и многих других изделий применяются диффузионные вакуумные насосы, в которых одним из важных конструктивных элементов является рабочая жидкость – вакуумное масло.
Очевидно, что чем более жесткие требования предъявляются к чистоте получаемого вакуума, тем более высокими свойствами должны обладать вакуумные жидкости.
К маслам для вакуумных насосов предъявляют следующие основные требования:
- Низкое давление пара при комнатной температуре и высокое давление пара при рабочей температуре в кипятильнике насоса
- Инертность к конструкционным материалам и откачиваемым газам
- Термостойкость и термоокислительная стабильность
- Стабильность в процессе эксплуатации
- Малое количество легколетучих фракций
С учетом условий эксплуатации рабочей жидкости в вакуумных насосах конкретного назначения приведенный список требований может дополняться или изменяться.
Вакуумные жидкости могут быть минеральными или синтетическими. Последние, несмотря на более высокую стоимость, за счет строго контролируемого состава имеют более стабильные характеристики. Как правило, они химически инертны и имеют более низкое давление насыщенного пара. В настоящее время широкое распространение получили полидиметилсилоксановые вакуумные жидкости.
Однако для множества применений, которые требуют более высоких эксплуатационных температур и чистоты вакуума, необходимы рабочие жидкости с улучшенными показателями.
Специальные вакуумные масла EFELE SO‑704 и EFELE SO-705 разработаны для получения ультравысокого и ультрачистого вакуума путем быстрого откачивания больших объемов газов и паров в диффузионных вакуумных насосах. Они отличаются повышенной антиокислительной способностью, хорошо работают в жестких условиях, обеспечивает быструю откачку даже после внешнего воздействия воздуха и температуры.
Использование EFELE SO-704 позволяет сэкономить время между циклами из-за выдающейся резистентности вакуумного масла к окислению и гидролизу, что позволяет производить вакуум без охлаждения насоса.
Повышенное содержание фенильных групп обеспечивает жидкости EFELE SO-705 великолепную устойчивость к радиации. Для того, чтобы удвоить первоначальную вязкость, требуется приблизительно 1800 Мрад облучения.
Вакуумные жидкости EFELE не разлагаются, не загрязняют внутренние поверхности насосов и отличаются длительным сроком службы. По вакуумным свойствам они не имеют себе аналогов среди других классов химических соединений и создают фактически безаварийные условия работы.
EFELE SO-704 является аналогом вакуумной жидкости Dow Corning 704, которая в настоящее время в Россию не поставляется и может использоваться вместо нее с сохранением всех рабочих параметров вакуумного оборудования.
