Жидкость для диффузионных вакуумных насосов EFELE SO-704
Технологические процессы, связанные с использованием вакуумного оборудования, широко применяются для проведения научных исследований, в медицине, атомной энергетике, электронике, авиации и космонавтике. Вакуумные насосы являются необходимыми элементами оснащения металлургических, химических производств и других отраслей промышленности.
Для получения вакуума в узлах масс-спектрометров, электронных микроскопов, напылительных установок и других высокоточных приборов, а также при производстве ламп накаливания, полупроводниковых приборов, фотоэлементов и многих других изделий применяются диффузионные вакуумные насосы, в которых одним из важных конструктивных элементов является рабочая жидкость.
Очевидно, что чем более жесткие требования предъявляются к чистоте получаемого вакуума, тем более высокими свойствами должны обладать вакуумные жидкости.
К жидкостям для паромасляных диффузионных насосов предъявляют следующие основные требования:
- низкое давление пара при комнатной температуре и высокое давление пара при рабочей температуре в кипятильнике насоса
- инертность к конструкционным материалам и откачиваемым газам;
- термостойкость и термоокислительная стабильность
- стабильность в процессе эксплуатации
- малое количество легколетучих фракций
С учетом условий эксплуатации рабочей жидкости в вакуумных насосах конкретного назначения приведенный список требований может дополняться или изменяться.
Вакуумные жидкости могут быть минеральными или синтетическими. Последние, несмотря на более высокую стоимость, за счет строго контролируемого состава имеют более стабильные характеристики. Как правило, они химически инертны и имеют более низкое давление насыщенного пара. В настоящее время широкое распространение получили полидиметилсилоксановые вакуумные жидкости.
Однако для множества применений, которые требуют более высоких эксплуатационных температур и чистоты вакуума, необходимы рабочие жидкости с улучшенными показателями.
Специальная вакуумная жидкость EFELE SO-704 разработана для получения ультравыского и ультрачистого вакуума путем быстрого откачивания больших объемов газов и паров в диффузионных вакуумных насосах. Она представляет собой полиметилфенилсилоксан и отличается повышенной антиокислительной способностью. EFELE SO-704 хорошо работает в жестких и трудных условиях, обеспечивает быструю откачку даже после внешнего воздействия воздуха и температуры, почти на 50 °С превышающей соответствующее значение для жидкостей на основе полидиметилсилоксанов.
Основные свойства и характеристики жидкости EFELE SO-704 представлены в таблице.
| Молекулярная структура | Тетраметил-тетрафенил-трисилоксан |
| Вакуум, торр (мм рт.ст.) | |
| Неуловленный | 10-7 – 10-8 |
| Уловленный | До 10-11 |
| Плотность при 25° С | 1,07 |
| Вязкость при 25° С, cSt | 39 |
| Точка воспламенения в открытой чашке, ° С | 221 |
| Точка закипания, при 0,5 торр, ° С | 215 |
| Типичная температура закипания, ° С | 220 |
| Поверхностное натяжение, дина/см | 37,3 |
| Теплота испарения, Ккал/г моль | 25,5 / 200° С |
Высокое содержание фенила обеспечивает жидкости EFELE SO-704 великолепную устойчивость к радиации. Для того, чтобы удвоить первоначальную вязкость, требуется приблизительно 1800 Мрад облучения.
Вакуумная жидкость EFELE SO-704 не разлагается, не загрязняет внутренние поверхности насосов и отличается длительным сроком службы. Она не имеет аналогов по вакуумным свойствам среди других классов химических соединений и создает фактически безаварийные условия работы.
EFELE SO-704 является аналогом вакуумной жидкости Dow Corning 704, которая в настоящее время в Россию не поставляется и может использоваться вместо нее с сохранением всех рабочих параметров вакуумного оборудования.
